Le bombole dei gas pericolosi utilizzati nella PECVD, situata nella clean-room
del TASC, si trovano nell’armadio di sicurezza
situato di fronte alla nuova entrata ancora non regolarmente agibile.Le bombole dei gas pericolosi utilizzati nella PECVD, situata nella clean-room
del TASC, si trovano nell’armadio di sicurezza
situato di fronte alla nuova entrata ancora non regolarmente agibile.
L’armadio, a prova di esplosione, contiene una bombola di Ammoniaca, una di Argon e una di Silano al 4% in Argon (che in questo modo dovrebbe essere sotto la soglia di pericolosità).
I tubi in acciaio che portano i gas in camera passano in un altro armadio nel quale sono posti i flussometri e dei bypass manuali. Entrambi gli armadi sono aspirati per aumentare la sicurezza in caso di fughe, e la mancata aspirazione è segnalata da un allarme sonoro la cui tacitazione si trova alla destra dell’armadio.
Ad entrambi gli armadi sono collegati due sensori, di Silano e di Ammoniaca, posizionati a sinistra dell’armadio con i flussometri e vicino alle pompe primarie.
In caso di presenza del gas questi chiudono una valvola pneumatica posizionata sulla bombola corrispondente e ne segnalano la chiusura accendendo un led rosso (a valvola pneumatica aperta è acceso il led verde).
Le bombole rimangono aperte soltanto durante l’utilizzo della PECVD e le linee vengono pompate dopo ciascun processo, in modo da minimizzare ogni rischio.
In caso di ALLARME:
L’allarme sonoro indica solo la mancata aspirazione e non la presenza di gas ed è quindi un avvertimento più che un’indicazione di vero pericolo.
Per questo motivo chiunque può tacitare l’allarme con l’apposito pulsante posto tra l’armadio contenente le bombole e la porta.
Si prega comunque di avvertire (della presenza dell’allarme sonoro o dell’avvenuta tacitazione) una delle seguenti persone: