IMPIANTO PER I GAS DEL SISTEMA DI RIE DEL GRUPPO LILIT: SISTEMA DI SICUREZZA

I gas stoccati presso il laboratorio TASC in uso per l’impanto di Reactive Ion Etching (situato nella camera pulita) sono i seguenti:

SISTEMA DI ALLARME PER METANO ED IDROGENO

Le bombole dei gas infiammabili metano ed idrogeno sono collocate in un cabinet esterno all’edificio. In un cabinet separato è collocata la bombola del gas comburente ossigeno. Le chiavi sono nella cassettina porta chiavi a fianco dell’ingresso alla nuova camera gialla.Nella clean room del TASC, a parete, fra la cappa e la porta di ingresso della stanza del FIB, è collocato un pannello di controllo munito di sirena per il monitoraggio di fughe di metano ed idrogeno. Il sensore è collocato a parete, a livello dei gruppi di riduzione di secondo stadio vicino al RIE.In caso di fuga di metano e/o idrogeno il sistema agisce sulle elettrovalvole poste nel cabinet chiudendole e la sirena comincia a suonare.

IN CASO DI ALLARME: Uscire dal locale e chiamare qualcuno dei responsabiliIn assenza di un responsabile, chiudere manualmente le bombole nel cabinet, quindi, arieggiare il locale clean room aprendone le porte ed infine tacitare l’allarme premendo il tasto reset nel pannello di controllo.

SISTEMA DI ALLARME AMBIENTE ANOSSICO

In corrispondenza delle bombole di tetrafluorometano, trifluorometano, esafluoruro di zolfo ed argon, è collocato un sensore di ossigeno. Tali bombole si trovano al di fuori della camera pulita, nella zona dove sono collocate le pompe rotative per il RIE ed il FIB ed il sistema di abbattimento del tetracloruro di silicio. Se la percentuale dell’ossigeno nell’ambiente dovesse diventare inferiore al valore di soglia (20%) (e ciò si verifica comunque sempre in caso di fughe di gas), il sensore di ossigeno farà scattare la sirena del pannello di controllo collocato nella clean room del TASC, a parete, fra la cappa e la porta di ingresso della stanza del FIB (lo stesso contenente i sensori di idrogeno ed ossigeno).

IN CASO DI ALLARME: Uscire dal locale e chiamare qualcuno dei responsabiliIn assenza di un responsabile, chiudere manualmente le bombole nel cabinet, quindi arieggiare il locale clean room aprendone le porte, aspettare che il livello di ossigeno salga a valori normali ed infine tacitare l’allarme premendo il tasto reset nel pannello di controllo.

RESPONSABILI DA AVVISARE:

• Cabrini Stefano 8773
• Vaccari Lisa 8413
• Businaro Luca 8416

SISTEMA DI ALLARME TETRACLORURO DI SILICIO

La bombola del gas tetracloruro di silicio è collocato in un cabinet aspirato all’interno della clean room del TASC: esso è ESTREMAMENTE TOSSICO.

NESSUNA PERSONA NON AUTORIZZATA PUO’ IN ALCUN MODO AGIRE SUL CABINET, SULLA BOMBOLA IN ESSO CONTENUTA E SUL PANNELLO DI CONTROLLO ED ALLARME DELL’IMPIANTO, il quale si trova in prossimità del cabinet, nella camera pulita.

Il sistema di sicurezza è stato realizzato con 5 sensori di HCl, posizionati nell’ordine:

1. Nel gas cabinet;

2. In camera pulita in corrispondenza della linea che porta il gas in camera;

3. All'esterno della camera pulita, a livello dello scarico del sistema di abbattimento;

4. All'interno della camera pulita, nella stanza del FIB;

5. All'esterno della camera pulita, nella zona di stoccaggio dei gas inerti, in corrispondenza della pompa rotativa del RIE;

Ogni sensore ha 2 livelli di allarme:preallarme ed allarme. In caso di fughe di gas, sia in uno stato di allarme che di preallarme, la sirena posta all’interno della camera pulita comincia a suonare. Due lampeggiatori collegati (uno interno alla clean room ed uno esterno posto sull corridoio) segnalano il livello di allarme; se il livello è di preallarme, lampeggia una luce gialla, se di allarme lampeggia quella rossa. A livello del pannello di controllo in camera polita è possibile capire quale dei sensori è andato in allarme: per ogni sensore esistono due luci ad indicare se il sensore sia in preallarme, luce gialla, o in allarme, luce rossa.

IN CASO DI ALLARME: uscire immediatamente dal locale e chiamare qualcuno dei responsabiliSe nessuno dei responsabili è presente, muniti di autorespiratore entrare in camera pulita ed accertarsi che l’allarme sia scattato in conseguenza ad una fuga di gas (allarme gas rosso acceso sul pannello) oppure per un guasto al sistema di aspirazione (Vedi sotto). Nel caso di una reale fuga di gas (Allarme Rosso persistente), chiamare i pompieri!Nel caso di un guasto al sistema di aspirazione, si veda sotto.

La sirena scatta e lampeggia con luce rossa anche in caso di mal funzionamento o guasto al sistema di aspirazione. Si accende anche una luce rossa sul pannello di controllo.

Mediamente, per evitare falsi allarmi dovuti a depressioni create dal vento forte, il sistema di aspirazione è lasciato in automatico solo quando il gas viene usato. In caso di non utilizzo il sistema di aspirazione è spento. Quindi, se suona l’allarme probabilmente è dovuto ad un guasto del sistema di aspirazione.

IN CASO DI ALLARME: Se nessuno sta usando il gas tetracloruro di silicio, la sirena può essere tacitata con il tasto apposito posto sul pannello di controllo e uno dei responsabili deve essere in ogni caso avvisato del guasto. Se qualcuno sta usando il gas e scatta l’allarme di aspirazione, uscire immediatamente dalla stanza. Sarà l’operatore autorizzato a decidere come procedere.

ATTENZIONE: SE QUALCUNO IN CAMERA PULITA STA USANDO ACIDO CLORIDRICO IN MANIERA NON OPPORTUNA, OVVERO NON SOTTO CAPPA O CON LA CAPPA APERTA, GLI ALLARMI DI HCl POSSONO SCATTARE. TACITARE LA SIRENA E LAVORARE IN CONDIZIONI DI SICUREZZA!